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Sliding PECVD Furnace

Forno a tubo scorrevole in pecvd a 3 zone di temperatura

  • Model Number:

    TMAX-1200-1400-1200
  • Pagamento:

    L/C D/A D/P T/T Western Union
  • Delivery Time:

    15 day
Dettagli sul prodotto

Forno a tubo scorrevole in pecvd a 3 zone di temperatura


tmax-1200-1400-1200 il sistema è composto da forno a tubi sottovuoto tl1200, camera a vuoto al quarzo, alimentatore RF, sistema di alimentazione gas gx, sistema di pompaggio e sistema di misurazione del vuoto.

caratteristiche principali:

1. il gas in la camera a vuoto al quarzo viene cambiata in stato ionico dall'alimentazione RF.

2. pecvd è cvd inferiore al normale per deposizione chimica da vapore.

3. lo stress di i film depositati possono essere controllati dalla frequenza dell'alimentazione RF.

4. pecvd ha alto tasso di deposizione, buona uniformità, coerenza e stabilità rispetto al normale cvd.

5. ampiamente usato nella crescita di vari film, come siox, sinx, sioxny e amorfo silicio (a-si: h), ecc.

tmax1200-1400-1200-h-pe tecnica di sistema all'elemento riscaldante svedese del filo di resistenza kanthal, utilizzando una struttura a doppio guscio e una tabella di controllo della temperatura di 30 programmi, innesco a sfasamento, controllo a tiristori, forno con policristallino materiale in fibra di allumina, in grado di sigillare la flangia in acciaio inossidabile su entrambe le estremità del tubo del forno, installazione della flangia in acciaio inossidabile con bocca, valvola e manometro, vuoto, grado di vuoto può raggiungere 10-3 pa, campo a bassa temperatura bilanciamento, temperatura superficiale, velocità di sollevamento, risparmio energetico, prezzo concessioni, ecc.

1. filo di resistenza kanthal a1 della svezia

Kanthal a1 resistenza cinese a filo originale forno a filo vs   forno a filo di resistenza importato

(1), la temperatura superficiale elevata può raggiungere 1420

(2) la superficie è in acciaio inossidabile (molto brillante, il cliente dovrebbe prestare attenzione ad esso), non arrugginirà e il tempo di utilizzo non diminuirà fuori dalle scorie.

(3) i dati del filo di resistenza kanthal vengono scaricati

(4) sito web del filo di resistenza kanthal: www.kanthal.com

(5) la resistenza è bilanciata e il campo di temperatura lo è ugualmente buono

la maggior parte dei produttori utilizza la lega fe-cr-al drogata dal mo filo di resistenza, che

a volte la resistenza è irregolare e una parte del calore è piccola                                           Kanthal la resistenza a1 è uniforme e termicamente bilanciata, campo di buona temperatura                                                                                                                                                                       effetto

2. installazione di aria interruttore e protezione perdite:

quando una corrente elettrica o dispersione, una riunione vuota si disconnette automaticamente.

3. può connettersi con il computer

questo forno è dotato di interfaccia di comunicazione e software, può essere direttamente attraverso il controllo computerizzato del forno di ciascuno parametro, e può essere osservato dal computer pv sulla stufa e sv valore di temperatura e funzionamento dello strumento, la temperatura effettiva del curva del forno che disegna il computer in tempo reale e può mantenere i dati di temperatura di ogni volta, può richiamare in qualsiasi momento

4. Camera

(1 ) di alta qualità in allumina pura pura policristallina forno a fibra indurita con aspirazione a vuoto e filtro.

(2). adottare la tecnologia giapponese per formare.

(3). la spaziatura e il passo del filo di resistenza nel forno sono organizzati secondo la migliore tecnologia termica del Giappone, e il il campo di temperatura è simulato dal software termico

(4). usando 4 settimane riscaldamento, la temperatura è più equilibrata

5. opzionale ul quadro elettrico certificato (tutto attraverso la certificazione ul di importazione apparecchi elettrici)

6. grilletto

soft-start trigger di limitazione corrente                           la maggior parte dei produttori utilizza trigger xiamen bode non limitativi

1 trigger di sfasamento (con avvio graduale e limitazione di corrente funzione)

2. funzione di limitazione della corrente, indipendentemente da come regolare il riscaldamento tempo abbiamo fornace elettrica dopo che la corrente secondaria del trasformatore è limitata a 170a o protezione inferiore limitata dell'attrezzatura. trigger non limitativo se la velocità di riscaldamento è impostata in modo errato o troppo veloce. la corrente a bassa corrente è molto grande il dispositivo si inciamperà o si brucerà.

3 funzione soft-start la corrente aumenterà lentamente il corrente l'impatto dell'elemento riscaldante è piccolo è favorevole al prolungamento della durata dell'elemento riscaldante

4 la funzione di protezione se la corrente supera il limite corrente il trigger interromperà automaticamente la funzione di trigger per interrompere l'attuale forno di protezione.

7. ul trasformatore certificato

1 il cavo del trasformatore è puro rame

2 il trasformatore suona piccolo

3 la temperatura del trasformatore è Basso

8. una varietà di opzioni per scegliere una varietà di flange (diametro da 25 a 250 mm)

modello

tmax-1200-1400-1200

energia

6kw

dimensione del tubo

diametro 60 (od) x2700mm

la tensione di alimentazione

220 v

numero di fasi

monofase

termosifone

importazione resistenza cantal svedese a1   fare clic sul filo nel download dei dati

la modalità di controllo

usando il controllo del programma elettrico yu   termometro (standard)
1. Regolazione intelligente del pid della temperatura di controllo di 30 programmi.
2. il circuito di riscaldamento del forno elettrico può essere interrotto automaticamente   quando è stato protetto da caldo o rotto accidentalmente. (quando la fornace   la temperatura supera i 1200 gradi o la termocoppia è rotta, il relè CA.   sul circuito principale si disconnetterà automaticamente, il circuito principale è   rotto, la luce sul pannello è spenta, spenta, la protezione limitata   forno elettrico.
3. con interfaccia di comunicazione 485 (standard e standard per la scelta   Software)
4. ha la funzione di protezione da mancanza di corrente, cioè quando l'alimentazione   è spento, il programma non si avvia dalla temperatura iniziale, ma il   la fornace inizierà a salire quando l'alimentazione è spenta.
lo strumento ha la funzione di autoimpostazione della temperatura


(per sostituire lo strumento importato, dobbiamo pagare un'altra commissione.)

fp93 strumenti per la tavola europea di controllo della temperatura          strumento touchscreen

(Shimaden)

la modalità di controllo della temperatura

pid

protezione e display rotti

protezione da sovratemperatura

sopra protezione corrente

precisione di controllo

+ / - 1

il grilletto

trigger di sfasamento

apparecchi elettrici

zhejiang chint

raddrizzatore controllato al silicio

106 / 16e cancello ovest, germania

la massima temperatura

zona di temperatura 1: 1200 temperatura   zona 2: 1200

la temperatura nominale

zona di temperatura 1: 1100 temperatura   zona 2: 1100

velocità di riscaldamento

il 20 / min o meno   (può modificare in base al requisito)

velocità di riscaldamento consigliata

10 / min o meno

modello di termocoppia

zone 1: intervallo di temperatura di tipo k   2: tipo k

lunghezza di riscaldamento

zone 1: intervallo di temperatura di 200 mm.   2: 200 mm

certificazione elettrica

ce

temperatura della superficie circostante

45 o meno

alimentatore RF

(generatore di plasma)

gamma di potenza

0-500 w

massima potenza riflessa

200 w.

frequenza di lavoro

rf: 13,56 mhz più o meno 0,005%

stabilità di potenza

+ / - 0,1%

componente armonica

- 50 o meno dbc

larghezza rf

0-600 - mm è regolabile

modalità di corrispondenza

automatico

modalità di raffreddamento

aria fredda

rumore

il & lt; 50 db

l'interfaccia a radiofrequenza

50 Ω di tipo n

potenza di ingresso

208-240 - v 50/60 hz

parametri principali della fornitura di gas gx   sistema

misuratore di portata di massa
la gamma standard
utilizzando il regolatore di flusso protonico 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 sccm,   1, 2, 3, 5, 10 slm
(puoi scegliere l'intervallo dell'intervallo e il tipo di gas)
pressione massima di esercizio 3 mp
la precisione di più o meno 1,5%
la caduta di pressione & lt; 0,01 mpa & lt; p = "" & gt;
ripetere la precisione più o meno 0,2% f.s

channles:

1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8 (opzionale)

tipo comune

doppia cassetta in acciaio inossidabile   connettore

campo di pressione di lavoro del sistema

0,1 ~ 0,5 mpa

temperatura di lavoro

5-45

orologio a depressione

Da 0,1 ~ 0,15 mpa a 0,01 mpa / custodia

camera di miscelazione statica

dia50 x 400 mm

interfaccia

dia6 1/4 "

l'alimentatore

220 v

taglia

600 x600x600

tubo corrugato

kf25x1000mm

il grado di vuoto può essere raggiunto con   questo sistema

10-1 il pa

valvola a deflettore per vuoto

KF25

pompa da vuoto vrd a 8

modello

vrd a 8

limitazione della pressione parziale

5 x 10-2 pa

interfaccia di scarico dell'aspirazione

KF25

velocità del motore

1440 giri / min

tasso di estrazione

2,2 l / s

potenza del motore

0.4 kw

perfezionatore acp1 multistadio senza olio   pompa radici (piano 2)

modello

acp15

Alimentazione elettrica

ac100 ~ 240v 50 / 60hz

energia

450 w

interfaccia di scarico

KF25

peso

25 kg

la massima perdita di elio è

5 · 10-8 pa m3 / s

grado di vuoto estremo

0.02 torr

il tasso di estrazione è

14 m3 / h

modello

zdr - 1

energia

25 sett.

campo di misura del grado di vuoto

0,1-10 5 pa

silicone di resistenza

ciò che zj doveva 52 t

capacità pirani svezia (inficon)   vacuometro (opzionale)

modello

pcg554

tensione di ingresso

24v 1a dc (equipaggiato con 220v   trasformatore)

interfaccia del vacuometro

KF16

Display digitale

display digitale (dimensioni dello schermo 20x14mm),   la cui unità di visualizzazione dei dati è torr

taglia del prodotto

46mm x 28mm x 126mm (lunghezza x larghezza x altezza)

il peso del

5 libbre

rilevazione di gas

vari gas possono essere rilevati   compresi i gas misti, accurati e ripetibili.

se l'anticorrosione

protezione dalla corrosione

il tempo di risposta

30 ms o meno

campo di misura

3,8 x10-5-1125 torr.

pompa molecolare (opzionale)

tensione di ingresso dell'unità

380 v / 220 v

tubo corrugato

kf40x1000

valvola a deflettore per vuoto

KF40

dimensioni della cassa

600 x600x600

pompa molecolare

modello di pompa molecolare

fj620

tensione di ingresso

380 v

flangia di ingresso della pompa molecolare

DN160

velocità di pompaggio della pompa molecolare l / s (per   aria)

600

pressione limite della pompa molecolare (pa)

6 x 10-7

sistema di raffreddamento

acqua raffreddata

pressione dell'acqua di raffreddamento (mpa)

Da 0,1 a 0,2

temperatura dell'acqua di raffreddamento

& Lt; 25 & Lt; p =   "" & gt;

la temperatura ambientale

0 ~ 40

pressione iniziale suggerita

& Lt; 100 pa & lt; p = "" & gt;

pompa per vuoto motore rvp - 6

energia

0,75 kw

voltaggio

380 v

velocità

1450 giri / min

diametro di ingresso

kf25 / kf40

tasso di pompaggio della pompa (l / s)

6

massima pressione

4 x 10-2 pa

pompa per vuoto pfeiffer tedesca

voltaggio

220 v

energia

110 sett.

interfaccia di estrazione

KF40

il peso del

150 kg

velocità della pompa anteriore

0,9 m 3 / h

tasso di estrazione (n2)

33 m / s

vacuometro composto

modello di vacuometro composto

ZDF

l'alimentatore

220 v 55 w

precisione di controllo

più o meno 1%

campo di misura del vacuometro

10-5-10 5 pa

PECVD Furnace


1. forniamo macchine con supporto per tecnologia batteria.

2. forniamo set completo di batteria al litio per ricerche di laboratorio, ricerca su scala pilota e produzione lin e.


laboratory muffle furnace


1 pacchetto standard esportato: protezione anticollisione interna, confezione esterna in scatola di legno per esportazione.

2 spedizione per espresso, via aerea, via mare in base alle esigenze dei clienti per trovare il modo più adatto.

3 responsabile del danno durante il processo di spedizione, cambierà la parte danneggiata per te gratuitamente.