Sistema di evaporazione termica a quattro fonti con precisione

Regolatore di temperatura

GSL-1700X-EV4 è un sistema di evaporazione termica compatto con un totale di 4 crogioli della sorgente di evaporazione e controllo della temperatura di precisione e programmabile. Quattro crogioli di evaporazione potrebbero essere utilizzati per depositare più materiali diversi per far crescere i film multistrato uno per uno nella stessa atmosfera della camera. Il sistema è adatto per rivestire la maggior parte dei film di materiali metallici e organici fino a 2" da 200 ºC a 1500 ºC (o 200 ºC - 1700 ºC con una termocoppia di tipo B opzionale).

SPECIFICHE:

Struttura & Caratteristiche	280 mm D.E. x 260 mm D.I. x 310 mm di altezza camera al quarzo per una facile pulizia e caricamento del campione Fonti di evaporazione ruotabili da 2" Dia per il rivestimento uniforme del film Riscaldatore a spirale in tungsteno e crogiolo in allumina per rivestimento ad alta temperatura fino a 1700 ºC Controllo di precisione della temperatura con 30 segmenti programmabili e precisione +/- 1 ºC L'alto vuoto può essere raggiunto fino a 1.0E-5 Torr tramite la turbopompa opzionale La porta e la valvola di flusso del gas sono integrate per lo spurgo della camera e la possibilità di CVD
Potenza di ingresso	Tensione di ingresso: CA 208 - 240 V 50/60 Hz, monofase (110 V CA è disponibile tramite trasformatore da 1500 W) Potenza in ingresso: 1.200 W potenza di uscita:: 12 V, e 30 A di corrente max. Corrente di lavoro consigliata <30 A Cavo di alimentazione incluso senza spina
Controllo della temperatura e controllo della temperatura Riscaldatori	Quattro crogioli di evaporazione in allumina con capacità di 3 mL ciascuno. Non è possibile utilizzare quattro sorgenti contemporaneamente. Il deposito multistrato verrebbe fatto uno per uno. Il riscaldatore della bobina di tungsteno con una termocoppia è integrato nella parte inferiore del crogiolo di allumina (per il controllo della temperatura (FIG. 1). Fare riferimento all'immagine a sinistra per le dimensioni Termocoppia tipo S standard (inclusa e installata) - riscaldamento da 200 ºC - 1500 ºC (FIG. 2) Termocoppia di tipo B opzionale (a pagamento) - riscaldamento da 1200 ºC - 1700 ºC Un termoregolatore digitale con 30 segmenti programmabili e precisione +/- 1 ºC (FIG. 3) Le impostazioni del tempo del regolatore di temperatura sono in secondi. Si consiglia di limitare la velocità di riscaldamento/raffreddamento della temperatura a 0,3 ºC/s (o 20 ºC/min) al di sotto di 1200 ºC e di limitare a 0,15 ºC/s (o 10 ºC/min) da 1200 a 1700 ºC Per il riscaldamento continuo superiore a 1300 ºC, limitare il tempo di funzionamento a meno di 1 ora per preservare la durata dell'O-ring della flangia inferiore Per un rivestimento rapido fino a 2000 °C, come richiesto nel rivestimento al carbonio, l'utente può rimuovere la termocoppia, il blocco termico in allumina e il crogiolo in allumina, caricare il materiale di evaporazione direttamente nel riscaldatore della bobina di tungsteno e utilizzare la modalità di controllo manuale corrente (FIG. 4 ) Sono inclusi quattro crogioli di allumina (fino a 1700 ºC) e due riscaldatori a bobina di tungsteno. Fare riferimento alla sezione Opzionale per l'ordinazione di parti di ricambio
Portacampioni girevole	Un diametro di 50 mm. il tavolino portacampione girevole e il relativo otturatore sono installati sulla flangia superiore. Velocità di rotazione: 5 giri/min La distanza dal portacampione alla fonte di evaporazione è regolabile da 40 mm a 85 mm
Sistema di analisi dello spessore del film (opzionale)	Film sottile di precisione e amp; Sistemi di analisi del rivestimento - EQ-TFMS-LD è disponibile a un costo aggiuntivo.
Vuoto	L'attacco del vuoto KF25 è installato per il collegamento a una pompa del vuoto Il vuoto massimo può raggiungere <1E-5 Torr pompando durante la notte con la pompa turbomolecolare opzionale Per il rivestimento è necessaria una pompa del vuoto. Si prega di scegliere tra le seguenti Opzioni prodotto Pompa per vuoto rotativa a palette a doppio stadio con trappola di vapore per eliminare la nebbia d'olio, che può raggiungere il vuoto fino a 1.0E-2 Torr per l'evaporazione di materiali metallici nobili, come oro, argento e materiali organici.
Ingresso gas	Il raccordo per tubo da 1/4 è integrato per lo spurgo della camera o la lavorazione del gas di formatura Una valvola a spillo è incorporata per controllare la portata del gas
Opzionale	Il crogiolo di allumina extra e il riscaldatore a bobina di tungsteno possono essere ordinati presso TMAX a un costo aggiuntivo
La dimensione complessiva
Dimensione della camera di quarzo	OD:280mm (11") ID: 260mm ( 10.2") Lunghezza: 310 mm (12,2")
Conformità	Certificato CE
Garanzia	Garanzia limitata di un anno con supporto a vita
Peso netto	80kg
Peso di spedizione e amp; Dimensioni	200 libbre, 40 "x 30" x 32 "
Note applicative	Per raggiungere l'alto vuoto richiesto per l'evaporazione di alcuni materiali, l'utente può farlo Controllare che la camera, l'O-ring e la flangia non presentino particelle, fibre o graffi. Utilizzare un panno privo di lanugine inumidito con alcol isopropilico (IPA) per pulire la superficie Utilizzare il nastro riscaldante per cuocere la camera a 150 ºC e preriscaldare il riscaldatore della bobina e il crogiolo a 500 ºC durante il pompaggio con la turbopompa opzionale per almeno 2 ore Pompare la camera durante la notte senza riscaldamento se è necessario un vuoto superiore a 1.0E-5 Torr NON avviare il programma di riscaldamento o aumentare manualmente la corrente senza una camera chiusa e un vuoto! NON rilasciare il vuoto o interrompere il pompaggio quando il dispositivo di rivestimento è in funzione di evaporazione! Durante il raffreddamento del riscaldatore, interrompere il pompaggio o rilasciare il vuoto SOLO quando la temperatura scende sotto i 100 ºC!