Vuoto p ump S et

( O il richiesto) r otario v acum p ump+( o il libero) t urbo m oleculan p insieme

Rotante p urtare S pisciato

50 Hz: 16 m³ / h (4,4 L/s)/ 60 Hz : 19,2 m³ /ora (5,2 l/s)

Molecolare p urtare S pisciato

300 litri/ S

Vuoto l imitare

5*10 ^-5 papà

Lavorando p pressione

0,5-5 Pa

Passare l'aspirapolvere t io me

>10 min(10 ^-3 Papà)

Vuoto m facilità

Campo di misura dall'atmosfera a 1*10 ^-6 papà

Gas c controllo

Gas f basso c controllore

Camera S ize

φ260*200mm (altezza) m etale

Magnetron t arget S fonte

Dimensione target φ 50*3mm(Cu)/ t fonte di destinazione: w eak m magnetico S sostanza / m materiali

Operazione m metodo

Manuale di istruzioni l

Peso/ S ize

100 kg/610 mm di lunghezza x 420 mm di larghezza x 490 mm di altezza

Potenza S up

CA 110 V 60 Hz o CA 220 V 50 Hz

Potenza c consumo

<3000W

Raffreddamento m metodo

Aria c raffreddamento( p ump)+ w ater c raffreddamento( S puttering t arget)

Garanzia

Garanzia limitata di un anno con supporto del prodotto a vita