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Prodotti
DC or RF Magnetron Sputter Coater

Coater per rivestimento sputtering ionico magnetron ad alto vuoto CC o RF

  • Model Number:

    TMAX-650MH
  • :

    Xiamen
  • MOQ:

    1
  • Pagamento:

    L/C D/A D/P T/T Western Union
  • Delivery Time:

    5 days
Dettagli sul prodotto

Coater per rivestimento sputtering ionico magnetron ad alto vuoto CC o RF

introduzione

Alto Magnetron Ion Sputtering Coater sottovuoto è ideale e progettato per la scienza dei materiali e la preparazione dei campioni. È ampiamente utilizzato per la maggior parte delle università e degli istituti di ricerca scientifica di scienza e ingegneria dei materiali per rivestire, per metalli, ceramiche, semiconduttori, isolanti o altri tipi di preparazione del materiale della membrana.

High Vacuum Magnetron Ion Sputtering Coater fornisce l'ambiente di sputtering più stabile e raggiunge le condizioni sperimentali di base dello sputtering di magnetron in un periodo di tempo molto breve. Fornisce DC / RF due tipi di opzioni di alimentazione sputtering che consentono lo sputtering di sostanze conduttive o non conduttive sul campione e migliorano le prestazioni di deposizione fisica da vapore (PVD). È anche eccellente per il trattamento superficiale e il rivestimento. È facile da usare e anche facile da usare.

Pompa del vuoto e refrigeratore sono inclusi.



Parametro

Vuoto p ump S et

( O il richiesto) r otario v acum p ump+( o il libero) t urbo m oleculan p insieme

Rotante p urtare S pisciato

50 Hz: 16 / h (4,4 L/s)/ 60 Hz : 19,2 /ora (5,2 l/s)

Molecolare p urtare S pisciato

300 litri/ S

Vuoto l imitare

5*10 -5 papà

Lavorando p pressione

0,5-5 Pa

Passare l'aspirapolvere t io me

>10 min(10 -3 Papà)

Vuoto m facilità

Campo di misura dall'atmosfera a 1*10 -6 papà

Gas c controllo

Gas f basso c controllore

Camera S ize

φ260*200mm (altezza) m etale

Magnetron t arget S fonte

Dimensione target φ 50*3mm(Cu)/ t fonte di destinazione: w eak m magnetico S sostanza / m materiali

Operazione m metodo

Manuale di istruzioni l

Peso/ S ize

100 kg/610 mm di lunghezza x 420 mm di larghezza x 490 mm di altezza

Potenza S up

CA 110 V 60 Hz o CA 220 V 50 Hz

Potenza c consumo

<3000W

Raffreddamento m metodo

Aria c raffreddamento( p ump)+ w ater c raffreddamento( S puttering t arget)

Garanzia

Garanzia limitata di un anno con supporto del prodotto a vita


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