Detergente per ozono da tavolo a raggi ultravioletti (UV) con riscaldatore del substrato per la pulizia di tutti i tipi di substrati

Caratteristiche

TMAX-PCE-22 è un Detergente per ozono a raggi ultravioletti (UV) con riscaldatore del substrato , quale viene utilizzato per la pulizia di tutti i tipi di substrati per ottenere una migliore qualità del film sottile a basso costo. Inoltre, è uno strumento eccellente per rimuovere e rimuovere il fotoresist, migliorare la bagnabilità della superficie, pulire SEM e amp; Campioni TEM, attivazione polimeri UV, assemblaggio ecc.

Il detergente UV-ozono ha dimostrato di esserlo altamente efficace per la pulizia atomica non acida, secca, non distruttiva e la rimozione di contaminanti organici utilizzando un'intensa luce UV da 185 nm e 254 nm . Sotto l'aria ea temperatura ambiente, la linea 185 produce Ozono mentre la linea 254 eccita le molecole organiche in superficie. Questa combinazione guida la rapida distruzione e decimazione dei contaminanti organici.

Specifiche

Potenza di ingresso	· CA 220 V, 50/60 Hz, (110 V CA disponibile su richiesta) · Potenza 350 W max.
Requisito ambientale	· Solo per uso interno; Utilizzo in altitudine fino a 5.500 piedi; · Intervallo di temperatura 41-104 gradi Fahrenheit; · Umidità relativa massima 80%, fino a 87 gradi Fahrenheit Diminuzione lineare al 50% di umidità relativa a 104 gradi Fahrenheit; · Le fluttuazioni dell'alimentazione principale non devono superare il 10% della tensione nominale; Categoria di sovratensione II; · Grado di inquinamento 2; Misurazione del livello di ozono (ambiente) a <45 ppb.
Lampada UV	· Lampada al mercurio a doppia onda in metallo solido · Lunghezza d'onda: 253,7 nm e 184,9 nm · Durata della lampada UV: 5000 ore · Area luce UV: 200 x 200 mm · Può pulire wafer di cristallo con un diametro fino a 12" x 35 mm di spessore. · La lampada UV viene spedita separatamente con la macchina per evitare potenziali danni durante il trasporto.
Camera & Fase campione	· Cassa in acciaio inossidabile · Cassetto scorrevole per un facile caricamento del campione · L'area del palco del campione è 310 mm x 320 mm (~12"x12") · Massimo. spessore campione: 40 mm · Il dispositivo di sfiato dell'ozono è integrato nella camera · Il timer va da 0,01 secondi a 99,9 ore.
Stadio di campionamento riscaldabile	· La fase del campione è riscaldabile fino a 150ºC con il regolatore di temperatura di precisione · Il regolatore di temperatura è programmabile a 20 segmenti con una precisione di +/-2 C · Uniformità della temperatura: <10C entro un'area di 6 pollici di diametro; &lt;20C entro 12 pollici di diametro · Tasso di riscaldamento: 15C max. · La distanza tra il portacampioni e la lampada è regolabile da 20 mm a 40 mm.
Porta di sfiato	· La porta di sfiato del diametro di 3 pollici è incorporata nella parte posteriore della macchina · Sono inclusi un tubo flessibile da 10 piedi e un morsetto di sfiato per collegare lo scarico del pulitore a un sistema di sfiato del laboratorio.
Dimensione	· 510 mm x 350 mm x 400 mm (L x A x P)
Peso netto	· 62 libbre
Peso di spedizione e amp; Dimensioni	· 160 libbre · 47" x 39" x 32"
Garanzia	2 anni di garanzia limitata con supporto a vita. La fragile lampada UV non è inclusa nella garanzia.
Applicazione	· Wafer di silicio pulito, wafer di arseniuro di gallio, quarzo e vetro ITO · Pulire tutti i tipi di substrato a cristallo singolo di ossido come zaffiro, STO e LAO. · Pulire la superficie dell'oro e del Pt · Una superficie ossidante di un materiale metallico leggero · Attivare polimeri e polimeri reticolati · Fotoresist/fotoresist della striscia UV · Display a LED della linea di produzione UV Clean