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Forno CSS a due zone da laboratorio per un trattamento termico rapido fino a 3" di diametro e 650ºC.
Model Number:
OTF-1200X-RTP-II:
XiamenMOQ:
1Pagamento:
L/C D/A D/P T/T Western UnionDelivery Time:
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Precedente:
Lab DC Vacuum Ion Sputtering Coating Coater con dimensioni della camera di 150 * 120 mmProssimo:
Forno CSS da laboratorio a due zone per un trattamento termico rapido fino a 5" di wafer di diametro a max.800°C
Forno CSS a due zone da laboratorio per un trattamento termico rapido fino a 3" di diametro e 650ºC.
OTF-1200X-RTP-II è un forno per trattamento termico rapido a due zone di riscaldamento con tubo al quarzo OD da 11". È progettato per PVD o CSS ( Sublimazione spaziata ravvicinata ) rivestimento con film fino a 3" di diametro o 2"x2" quadrati. Il forno è riscaldato da due gruppi di riscaldatori alogeni (superiore e inferiore) separatamente con una velocità di riscaldamento massima di 20ºC/s. Due termoregolatori di precisione a 30 segmenti sono integrati con Precisione di +/-1ºC.La porta RS485 e il software di controllo sono inclusi per consentire il funzionamento del forno e la registrazione del profilo di temperatura tramite PC.È uno strumento eccellente per la ricerca di film sottili di nuova generazione per celle solari, come CdTe, solfuro e P cella solare erovskite.
SPECIFICHE:
Struttura del forno & Camera sottovuoto |
· Dual Heater, due regolatori di temperatura, misuratori di portata del gas a due canali sono integrati in un telaio mobile in lega di alluminio · La camera è realizzata in tubo di quarzo fuso ad alta purezza · Dimensioni del tubo al quarzo: 11" OD/10,8" ID x 9" H · Le flange del vuoto sono realizzate in acciaio inossidabile 316 · Dimensioni complessive: 850(L)×745(L)×1615(H) mm |
Flange sottovuoto |
· La flangia superiore con una porta del vuoto KFD-25 e due uscite del gas (necessario tubo da 1/4") può scorrere manualmente verso l'alto o verso il basso per caricare e scaricare facilmente il substrato e il materiale evaporato · La flangia inferiore ha una porta del vuoto KFD-25 con due ingressi del gas (necessario tubo da 1/4") e valvole a spillo · La flangia è sigillata da doppi o-ring in silicone e può raggiungere la massima pressione del vuoto di 10E-2 Torr con una pompa meccanica di qualità e 10E-5 Torr con una pompa molecolare (la pompa del vuoto non è inclusa, si prega di ordinare separatamente) · Il vacuometro digitale anticorrosivo di precisione è in confezione standard (Dal 24.03.2016) . |
Misuratori di portata del gas |
Sul pannello di controllo sono installati due galleggianti con campo di misura di: · 16-160ml/m · 400 - 4000 mL/m (a scopo di spurgo) |
Riscaldatore e portacampioni |
· Due lampade IR a onde corte come elementi riscaldanti per un riscaldamento rapido. · La distanza tra due riscaldatori è regolabile da 10 a 50 mm · I riscaldatori sono realizzati in acciaio inossidabile con camicia fredda ad acqua per ridurre la radiazione termica e consentire un rapido raffreddamento · Porta wafer rotondo da 3". è integrato con il riscaldatore superiore per caricare il substrato · È inclusa una piastra AlN ad alta conduttività termica (3 "diametro x 0,5 mm di spessore), che deve essere posizionata sul retro del substrato per riscaldarlo uniformemente · Una piastra in grafite da 3" può essere utilizzata in alternativa alla piastra AIN, fare clic sull'immagine qui sotto per ordinare. · La sostituzione del riscaldatore a luce alogena è disponibile a un costo aggiuntivo |
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· Due termoregolatori digitali di precisione con 30 segmenti programmabili offrono il controllo indipendente dei riscaldatori superiore e inferiore · Ogni controller ha la funzione di autotuning PID per proteggere i riscaldatori da sovraelongazioni e la funzione di allarme per evitare il surriscaldamento e l'interruzione della coppia termica · Interfaccia di comunicazione per PC e amp; è installato il software per (fare clic sull'immagine sotto per i dettagli) registrare il profilo di temperatura mostrato di seguito
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· Temperatura massima per ogni riscaldatore: <= 650ºC · Massima differenza di temperatura tra due riscaldatori: <= 300ºC dipende dalla distanza tra due riscaldatori: o Spaziatura 30 mm max. differenza di temperatura: 315ºC @ solo riscaldamento inferiore o Spaziatura 40 mm max. differenza di temperatura: 350ºC @ solo riscaldamento inferiore o Spaziatura 50 mm max. differenza di temperatura: 395ºC @ solo riscaldamento inferiore |
Riscaldamento e riscaldamento Velocità di raffreddamento |
· Riscaldamento: < 8ºC/s (riscaldamento solo riscaldatore singolo) · Raffreddamento: < 10ºC/s (600 - 100ºC) max. |
Due coppie termiche di tipo K (a vista) sono installate separatamente sui riscaldatori superiore e inferiore |
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Tensione di lavoro |
208 - 240VAC, monofase, 20A air breaker |
Requisiti di potenza |
2200W totali ( 1100W per ogni riscaldatore ) |
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· È necessaria una pompa per vuoto. Si prega di ordinare separatamente facendo clic sulla prima immagine da sinistra in basso. Il livello di vuoto può raggiungere < = 10E-2 torr con pompa meccanica · Se si utilizza gas corrosivo, si prega di considerare l'utilizzo di una pompa a secco anticorrosione mostrata nella seconda immagine da sinistra in basso (pompa Pfeiffer dalla Germania) a un costo aggiuntivo · È possibile ordinare separatamente un refrigeratore d'acqua a ricircolo per risparmiare acqua · È possibile scegliere il sistema di erogazione del gas MFC digitale facendo clic sulla prima immagine da destra in basso
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Garanzia |
Un anno limitato con supporto a vita (le parti consumabili come il tubo al quarzo e le lampade riscaldanti non sono coperte dalla garanzia) |
Laptop, software e amp; Controllo Wi-Fi (opzionale) |
· Laptop nuovo di zecca con Microsoft Windows 10 e Microsoft Office 2013 (30 giorni di prova gratuita) per l'uso immediato. · Sistema di controllo della temperatura basato su Labview ( EQ-MTS01 ) consente all'utente di modificare il profilo di temperatura, gestire la ricetta del trattamento termico, registrare e tracciare i dati per i forni MTI. · Un telecomando wireless fornisce fino a 300 metri di raggio d'azione. · Le funzionalità di cui sopra sono disponibili su richiesta a un costo aggiuntivo (fino a $ 1.000). Vi preghiamo di contattarci per ulteriori informazioni. · Nota: |
Note applicative |
Si prega di leggere l'articolo: Cella solare CdTe ad alta efficienza |
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· I forni tubolari con tubo in quarzo sono progettati per l'utilizzo sottovuoto e bassa pressione < 0,2 bar / 3 psi / 0,02 MPa. Le pressioni del vuoto possono essere utilizzate in sicurezza solo fino a 1000°C. La portata dei gas dovrebbe essere limitata a < 200 SCCM (o 200 mL/min) per ridurre gli shock termici al tubo. · Attenzione : Un regolatore di pressione a due stadi deve essere installato sulla bombola del gas per limitare la pressione al di sotto di 3 PSI per un funzionamento sicuro. |