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Sistema di controllo del flussometro di massa programmabile Sistema MFS
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TMAX-MFS:
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pompa molecolare
Sistema di controllo del flussometro di massa programmabile Sistema MFS
1. Il gas esce dal cilindro, attraverso la valvola di riduzione della pressione, attraverso il tubo in teflon fino all'ingresso del sistema di alimentazione del gas, quindi attraverso il flussometro protonico per controllare il flusso del gas, quindi attraverso il serbatoio di miscelazione dell'aria e quindi dentro l'ingresso dell'aria del forno. Il gas fuoriesce dal tubo di uscita dell'aria, attraverso la valvola a tre vie, un'estremità è collegata alla pompa del vuoto e l'altra estremità è collegata all'uscita dell'aria.
2. Il serbatoio di miscelazione dell'aria è collegato a un manometro e il pannello di visualizzazione del manometro e del flussometro protonico sono installati sullo stesso pannello.
3. Ogni gasdotto ha una valvola di arresto ad alta pressione per garantire la sicurezza.
4. Il percorso del gas adotta un rotametro del gas ad alta precisione e il percorso del gas interno adotta un tubo in teflon, che ha una buona resistenza alla corrosione.
5. Tutti i giunti sono collegati da puntale, con buona tenuta all'aria e alta resistenza alla pressione.
6. Composizione dell'apparecchiatura: conduttura di aspirazione dell'aria multicanale, flussometro protonico, serbatoio di miscelazione dell'aria e conduttura di uscita dell'aria
Caratteristiche
1. Diversi canali di aspirazione dell'aria sono personalizzati dai clienti, interfaccia standard, connessione conveniente
2. Il touch screen a cristalli liquidi controlla e immette il flusso di gas di ciascun canale e visualizza la curva del flusso di gas di ciascun canale in tempo reale
3. Ogni percorso del gas è dotato di valvola di arresto ad alta pressione, utile per interrompere il percorso del gas
Specifiche
Percorso del gas /canale |
2/3/4/5/6/7/8/9/10 selezionabili |
Tipo di gas |
Scegli per cliente |
Campo del misuratore di portata |
5—500SCCM;1—10SLM selezionabile |
tensione di lavoro |
220V/50Hz |
Differenza di pressione di lavoro |
0,1-0,5MPa |
Pressione massima |
3MPa |
Precisione |
±1,5% F.S |
Lineare |
±0,5~1,5% F.S |
Tempo corrispondente del flussometro protonico |
<1S |
campo di misura |
0,1-0,15MPa |
Serbatoio di miscelazione |
SS 30 4 |
Ingresso e uscita dell'aria |
φ 6 mm Interfaccia ghiera in acciaio inossidabile |
Materiale del tubo |
Il tubo in acciaio inossidabile da 6 mm di diametro viene utilizzato per il tubo interno; Il tubo in teflon da 6 mm viene utilizzato per il tubo esterno |
Sistema di controllo |
Sistema di controllo PLC, ingresso touch screen LCD, controllo indipendente di ciascun percorso del gas |