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Prodotti
Sliding PECVD System

Sistema pecvd scorrevole a doppia zona 1200 ℃

  • Model Number:

    TMAX-1200-PECVD

  • :

    Xiamen

  • Pagamento:

    L/C D/A D/P T/T Western Union

  • Delivery Time:

    5 days
Dettagli sul prodotto

Sistema pecvd scorrevole a doppia zona 1200 ℃


tmax-1200-1200 è composto da un sistema pecvd a due temperature ad area antiscivolo tmax-1200-1200 forno a tubi sottovuoto a due temperature tipo slip, camera a vuoto al quarzo, radio alimentazione in frequenza, sistema di alimentazione gas gx, sistema di pompaggio e vuoto sistema di misurazione.

caratteristiche principali:

1. il gas in la camera a vuoto al quarzo viene cambiata in stato ionico dall'alimentazione RF.

2. pecvd è cvd inferiore al normale per deposizione chimica da vapore

3. lo stress di i film depositati possono essere controllati dalla frequenza dell'alimentazione RF

4. ha pecvd alto tasso di deposizione, buona uniformità, consistenza e stabilità del normale cvd.

5. ampiamente usato nella crescita di vari film, come siox, sinx, sioxny e amorfo silicio (a-si: h), ecc.

questa diapositiva la tecnica del sistema pecvd a doppia temperatura tipo tl1200-1200 è un riscaldamento rapido, tecnica di sistema di raffreddamento temperatura pecvd, è nell'intervallo di temperatura di sistema doppio pecvd installato su una coppia di guide di scorrimento, tecnica disponibile sistema di scorrimento manuale.

riscaldamento e velocità di raffreddamento fino a 100 ° c / min.

prendere il riscaldamento più veloce, riscaldare prima la stufa alla temperatura impostata, quindi spostarsi il forno nella posizione del campione.

prendere il raffreddamento più veloce, spostare la stufa all'altra estremità dopo il riscaldamento del campione.

riscaldamento e la velocità di raffreddamento sotto vuoto o l'ambiente di gas inerte può raggiungere i 10 ° c / s, è bassa costo rapido riscaldamento e raffreddamento gamma di temperatura del doppio sistema pecvd tecnica.

1. filo di resistenza kanthal a1 della svezia

Kanthal a1 resistenza cinese a filo originale forno a filo vs   forno a filo di resistenza importato

(1), la temperatura superficiale elevata può raggiungere 1420 ℃

(2) la superficie è in acciaio inossidabile (molto brillante, il cliente dovrebbe prestare attenzione ad esso), non arrugginirà e il tempo di utilizzo non diminuirà fuori dalle scorie.

(3) i dati del filo di resistenza kanthal vengono scaricati

(4) sito web del filo di resistenza kanthal: www.kanthal.com

(5) la resistenza è bilanciata e il campo di temperatura lo è ugualmente buono

la maggior parte dei produttori utilizza la lega fe-cr-al drogata dal mo filo di resistenza, che

a volte la resistenza è irregolare e una parte del calore è piccola                                           Kanthal la resistenza a1 è uniforme e termicamente bilanciata, campo di buona temperatura                                                                                                                                                                       effetto

2. installazione di aria interruttore e protezione perdite:

quando una corrente elettrica o dispersione, una riunione vuota si disconnette automaticamente.

3. può connettersi con il computer

questo forno è dotato di interfaccia di comunicazione e software, può essere direttamente attraverso il controllo computerizzato del forno di ciascuno parametro, e può essere osservato dal computer pv sulla stufa e sv valore di temperatura e funzionamento dello strumento, la temperatura effettiva del curva del forno che disegna il computer in tempo reale e può mantenere i dati di temperatura di ogni volta, può richiamare in qualsiasi momento

4. Camera

(1 ) di alta qualità in allumina pura pura policristallina forno a fibra indurita con aspirazione a vuoto e filtro.

(2). adottare la tecnologia giapponese per formare.

(3). la spaziatura e il passo del filo di resistenza nel forno sono organizzati secondo la migliore tecnologia termica del Giappone, e il il campo di temperatura è simulato dal software termico

(4). usando 4 settimane riscaldamento, la temperatura è più equilibrata

5. opzionale ul quadro elettrico certificato (tutto attraverso la certificazione ul di importazione apparecchi elettrici)

6. grilletto

soft-start trigger di limitazione corrente                           la maggior parte dei produttori utilizza trigger xiamen bode non limitativi

1 trigger di sfasamento (con avvio graduale e limitazione di corrente funzione)

2. funzione di limitazione della corrente, indipendentemente da come regolare il riscaldamento tempo abbiamo fornace elettrica dopo che la corrente secondaria del trasformatore è limitata a 170a o protezione inferiore limitata dell'attrezzatura. trigger non limitativo se la velocità di riscaldamento è impostata in modo errato o troppo veloce. la corrente a bassa corrente è molto grande il dispositivo si inciamperà o si brucerà.

3 funzione soft-start la corrente aumenterà lentamente il corrente l'impatto dell'elemento riscaldante è piccolo è favorevole al prolungamento della durata dell'elemento riscaldante

4 la funzione di protezione se la corrente supera il limite corrente il trigger interromperà automaticamente la funzione di trigger per interrompere l'attuale forno di protezione.

7. ul trasformatore certificato

1 il cavo del trasformatore è puro rame

2 il trasformatore suona piccolo

3 la temperatura del trasformatore è Basso

8. una varietà di opzioni per scegliere una varietà di flange (diametro da 25 a 250 mm)

modello

tmax-1200-1200 - i

tmax-1200-1200-ii

tmax-1200-1200-iii

tmax-1200-1200-iv

energia

3 kw

3 kw

4 kw

4 kw

tubo   taglia

120   (od) x1800mm dia

60   (od) x1800mm dia

80   (od) x1800mm dia

100   (od) x1800mm dia

complessivamente   Dimensioni (lxpxh)

1800   x480x680

1800   x410x610

1800   x410x610

1800   x460x660

il   tensione di alimentazione

220 v

diapositiva   materiale ferroviario

304   acciaio inossidabile

scorrevole   modalità

inossidabile   cuscinetti volventi in acciaio

numero   di fase

singolo   fase

riscaldamento   elemento

importare   filo di resistenza svedese cantal a1 fare clic per scaricare i dati

il   modalità di controllo

utilizzando il termometro di controllo del programma elettrico yu (standard)
1. Regolazione intelligente del pid della temperatura di controllo di 30 programmi.
2. il circuito di riscaldamento del forno elettrico può essere interrotto automaticamente   quando è stato protetto da caldo o rotto accidentalmente. (quando la fornace   la temperatura supera i 1200 gradi o la termocoppia è rotta, il relè CA.   sul circuito principale si disconnetterà automaticamente, il circuito principale è   rotto, la luce sul pannello è spenta, spenta, la protezione limitata   forno elettrico.
3. con interfaccia di comunicazione 485 (standard e standard per la scelta   Software)
4. ha la funzione di protezione da mancanza di corrente, cioè quando l'alimentazione   è spento, il programma non si avvia dalla temperatura iniziale, ma il   la fornace inizierà a salire quando l'alimentazione è spenta.
lo strumento ha la funzione di autoimpostazione della temperatura

(per sostituire lo strumento importato, dobbiamo pagare   un'altra tassa.)

fp93   tabella di controllo della temperatura (shimaden) europeo   strumenti

strumento touchscreen

il   modalità di controllo della temperatura

pid

rotto   protezione e display uniformi

sì

al di sopra di   protezione della temperatura

sì

al di sopra di   protezione attuale

sì

controllo   precisione

+ / -   1 ℃

il   grilletto

fase   grilletto del cambio

elettrico   elettrodomestici

Zhejiang   Chint

silicio   raddrizzatore controllato

106 / 16e   cancello ovest, germania

il   massima temperatura

temperatura   zona1: 1200 ℃ zona di temperatura 2: 1200 ℃

il   temperatura nominale

temperatura   zona1: 1100 ℃ zona di temperatura 2: 1100 ℃

riscaldamento   Vota

il   20 ℃ / min o meno (può modificare in base al requisito)

consigliato   velocità di riscaldamento

10 ℃ / min o meno

modello   di termocoppia

zone   1: intervallo di temperatura di tipo k 2: tipo k

riscaldamento   lunghezza

zone   1: intervallo di temperatura di 200 mm. 2: 200 mm

elettrico   certificazione

ce

circostante   temperatura superficiale

45 ℃ o meno

rf   Alimentazione elettrica

(generatore di plasma)

energia   gamma di uscita

0-500   w

massimo   potenza riflessa

200   w.

Lavorando   frequenza

RF:   13,56 mhz più o meno 0,005%

energia   stabilità

+ / -   0,1%

armonico   componente

- 50   o meno dbc

rf   larghezza

0-600   - mm è regolabile

accoppiamento   modalità

automatico

raffreddamento   modalità

aria   freddo

rumore

il   & Lt; 50 db

il   interfaccia a radiofrequenza

50 Ω   tipo n

ingresso   energia

208-240   - v 50/60 hz

principale   parametri del sistema di alimentazione del gas gx

massa   misuratore di flusso
la gamma standard
utilizzando il regolatore di flusso protonico 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 sccm,   1, 2, 3, 5, 10 slm
(puoi scegliere l'intervallo dell'intervallo e il tipo di gas)
pressione massima di esercizio 3 mp
la precisione di più o meno 1,5%
la caduta di pressione & lt; 0,01 mpa & lt; p = "" & gt;
ripetere la precisione più o meno 0,2% f.s

channles:

1, 2,   3, 4, 5, 6, 7, 8 (opzionale)

comune   genere

Doppio   connettore a cassetta in acciaio inossidabile

sistema   campo di pressione di lavoro

0.1 ~   0,5 mpa

Lavorando   temperatura

5-45 ℃

pressione   orologio da vuoto

0.1 ~   Da 0,15 mpa a 0,01 mpa / custodia

statico   Camera di miscelazione

Dia50   x 400 mm

interfaccia

dia6   1/4"

il   Alimentazione elettrica

220 v

taglia

600   x600x600

ondulato   tubo

kf25x1000mm

il   il grado di vuoto può essere raggiunto con questo sistema

10-1   il pa

vuoto   valvola a deflettore

KF25

VRD   a 8 pompe per vuoto

modello

VRD   a 8

limitativo   pressione parziale

5   x10-2 pa

insenatura   interfaccia di scarico

KF25

il motore   velocità

1440   rpm

estrazione   Vota

2.2   l / s

il motore   energia

0.4   kW

perfeer   Pompa per radici multistadio senza olio acp1 (piano 2)

modello

acp15

energia   fornitura

AC100   ~ 240v 50 / 60hz

energia

450 w

scarico   interfaccia

KF25

peso

25 kg

il   la massima perdita di elio è

5 ·   10-8 pa m3 / s

estremo   grado di vuoto

0.02   torr

il   il tasso di estrazione è

14 m3   / h

modello

zdr -   1

energia

25 sett.

vuoto   campo di misura dei gradi

0,1-10   5 pa

resistenza   silicio

che cosa   zj ha dovuto 52 t

Svezia   (inficon) vuotometro di capacità pirani (opzionale)

modello

pcg554

ingresso   voltaggio

24v   1a cc (dotato di trasformatore 220v)

vuoto   interfaccia del calibro

KF16

digitale   Schermo

digitale   display (dimensioni dello schermo 20x14mm), la cui unità di visualizzazione dei dati è torr

Prodotto   taglia

46 millimetri   x 28mm x 126mm (lunghezza x larghezza x altezza)

il   peso del

5 libbre

rivelazione   di gas

vario   i gas possono essere rilevati inclusi gas misti, accurati e ripetibili.

se   l'anticorrosivo

corrosione   protezione

il   tempo di risposta

30 ms   o meno

misurazione   gamma

3.8   x10-5-1125 torr.

molecolare   gruppo pompa (opzionale)

unità   tensione di ingresso

380 v   / 220 v

ondulato   tubo

kf40x1000

vuoto   valvola a deflettore

KF40

Astuccio   taglia

600   x600x600

molecolare   modello di pompa

fj620

ingresso   voltaggio

380 v

molecolare   flangia di ingresso della pompa

DN160

molecolare   tasso di pompaggio della pompa l / s (per aria)

600

molecolare   pressione limite della pompa (pa)

6 x   10-7

raffreddamento   sistema

acqua   raffreddata

raffreddamento   pressione dell'acqua (mpa)

0.1   a 0,2

raffreddamento   temperatura dell'acqua

& Lt;   25 ℃ & Lt; p = "" & gt;

il   temperatura ambiente

0 ~   40 ℃

suggerito   pressione iniziale

& Lt;   100 pa & lt; p = "" & gt;

motore   pompa per vuoto rvp - 6

energia

0.75   kW

voltaggio

380 v

velocità

1450   rpm

insenatura   diametro

KF25   / kf40

pompa   tasso di pompaggio (l / s)

6

finale   pressione

4   x10-2 pa

Tedesco   pompa per vuoto pfeiffer

voltaggio

220 v

energia

110   w.

estrazione   interfaccia

KF40

il   peso del

150   kg

pompa   velocità della pompa anteriore

0,9 m   3 / h

estrazione   tasso (n2)

33   Signorina

composto   vacuometro

composto   modello di vacuometro

ZDF

il   Alimentazione elettrica

220 v   55 sett

controllo   precisione

più   o meno 1%

vuoto   campo di misura del calibro

10-5-10   5 pa

parti

numero

tl1200-1200   forno a tubi

1 set

quarzo   tubo

1

ss   flangia

1 set

inossidabile   gancio in acciaio

1

allumina   spina del forno

3

alto   guanti termici

1   paio

allumina   crogiuolo

1

K termocoppia

1

485   trasformare interfacce e software ( opzionale )

1 set

istruzione   libro

1

flangia   supporto

1

gas   sistema di approvvigionamento

1

vs-0.1air   sistema di estrazione

1

rf   energia

1

ghiera

4 个

urlo

1

vuoto   valvola a deflettore

1

cil   connettore ( n sta per numero di canali )

n

valvola   connettore

2

ptfe   pipe (n sta per numero di canali)

n * 5

PECVD Furnace


1. forniamo macchine con supporto per tecnologia batteria.

2. forniamo set completo di batteria al litio per ricerche di laboratorio, ricerca su scala pilota e produzione lin e.


laboratory muffle furnace


1 pacchetto standard esportato: protezione anticollisione interna, confezione esterna in scatola di legno per esportazione.

2 spedizione per espresso, via aerea, via mare in base alle esigenze dei clienti per trovare il modo più adatto.

3 responsabile del danno durante il processo di spedizione, cambierà la parte danneggiata per te gratuitamente.




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