Forno CSS a due zone con porta wafer rotante fino a 5x5" a max.800°C - OTF-1200X-RTP-II-5-R

OTF-1200X-RTP-II-5-R è un forno di trattamento termico rapido avanzato con camera in quarzo da 11" I.D. e portacampioni rotante 5"x5". È progettato per il rivestimento di film CSS fino a 5" campioni di wafer circolari o quadrati a una temperatura di esercizio di 800°C max. Il forno è riscaldato da due gruppi di riscaldatori alogeni (superiore e inferiore) separatamente con max. 10 º C/s velocità di riscaldamento. Il portacampione superiore è girevole per ottenere un rivestimento ad alta uniformità. È uno strumento eccellente per la ricerca di film sottili di nuova generazione per celle solari, come CdTe, solfuro e P cella solare erovskite.

SPECIFICHE:

Struttura del forno	Forno, due regolatori di temperatura, misuratori di portata del gas a due canali sono integrati in un telaio mobile in lega di alluminio. La camera è realizzata in tubo di quarzo fuso ad alta purezza con dimensioni di 11" OD/10,8" ID x 9" H. Le flange del vuoto sono realizzate in acciaio inossidabile 316 e sollevamento tramite motore elettrico. Due piastre riscaldanti IR da 5 "x5" e la spaziatura sono regolabili. Il supporto del campione superiore è girevole alla velocità 0 - 7 RPM.
Flange sottovuoto	La flangia superiore con una porta del vuoto KFD-25 e un'uscita del gas (necessario tubo da 1/4") può scorrere manualmente verso l'alto o verso il basso per caricare e scaricare facilmente il substrato e il materiale evaporato. La flangia inferiore ha una porta del vuoto KFD-25 con un ingresso del gas (necessario tubo da 1/4") con valvole a spillo. La flangia è sigillata da doppi o-ring in silicone e può raggiungere max. la pressione del vuoto di 10E-2 Torr di una qualità pompa meccanica e 10E-5 Torr da una pompa molecolare (la pompa del vuoto non è inclusa, si prega di ordinare separatamente). Un vacuometro digitale è installato sulla flangia superiore. Il vacuometro digitale anticorrosivo di precisione è in confezione standard (Dal 24.03.2016) .
Riscaldatore e portacampioni	Due riscaldatori controllati in modo indipendente con distanza regolabile manualmente da 2 a 30 mm. Le lampade alogene da 20 pezzi vengono utilizzate come elemento riscaldante per un rapido trattamento termico. I riscaldatori sono realizzati in acciaio inossidabile con camicia fredda ad acqua per ridurre la radiazione termica e sono in grado di raffreddarsi rapidamente. 5" Dia. il supporto per wafer circolare è integrato nel riscaldatore superiore per contenere il substrato. È incluso un set di piastre AlN ad alta conduttività termica (diametro 5" x 0,5 mm di spessore) (posizionarle sul retro del substrato per renderlo uniformemente riscaldato). È incluso un refrigeratore d'acqua circolante da 58 l/min per risparmiare acqua (fare clic sull'immagine qui sotto per vedere le specifiche dettagliate). Il portacampione superiore è girevole a velocità regolabile 0 - 7 RPM
Regolatore di temperatura	Due termoregolatori digitali di precisione con 30 segmenti programmabili offrono il controllo indipendente dei riscaldatori superiore e inferiore. Ogni controller ha una funzione di autotaratura PID per proteggere i riscaldatori da overshooting e una funzione di allarme per evitare che il surriscaldamento danneggi le coppie termiche. Interfaccia di comunicazione per PC e amp; software sono installati per (fare clic sull'immagine sotto per i dettagli) registrare il profilo di temperatura mostrato di seguito.
Temperatura di lavoro	Temperatura massima per ogni riscaldatore: ≤ 800ºC. Massima differenza di temperatura tra due riscaldatori: ≤ 300ºC dipende dalla distanza tra due riscaldatori: Spaziatura 30 mm max. differenza di temperatura: 315ºC @ solo riscaldamento inferiore
Riscaldamento e riscaldamento Velocità di raffreddamento	Riscaldamento: < 8ºC/s (riscaldamento solo riscaldatore singolo) Raffreddamento: < 10ºC/s (600 - 100ºC) max.
Coppia Termica	Due coppie termiche di tipo K sono installate separatamente sui riscaldatori superiore e inferiore.
Tensione di lavoro	208 - 240VAC, monofase, 50A air breaker
Requisiti di potenza	10 KW totali
Dimensioni	(clicca sulla foto per vedere la dimensione)
Peso di spedizione e amp; Dimensione	Due pallet: 525 libbre e 48 "x 40" x 87 "e 165 libbre con dimensioni 39x31x29"
Opzionale	È necessaria una pompa per vuoto. Si prega di ordinare separatamente facendo clic sulla prima immagine da sinistra in basso. Il livello di vuoto può raggiungere ≤ 10E-2 torr mediante pompa meccanica. Se si utilizza gas corrosivo, utilizzare una trappola fredda o una pompa a secco anticorrosione come mostrato nella figura 2-3 a un costo aggiuntivo. È possibile scegliere il sistema di erogazione del gas MFC digitale facendo clic sulla prima immagine da destra in basso.
Garanzia	Un anno limitato con supporto a vita (le parti consumabili come il tubo al quarzo e le lampade riscaldanti non sono coperte dalla garanzia).
Note sull'applicazione & Avvertenze	I forni tubolari con tubo in quarzo sono progettati per l'utilizzo sottovuoto e bassa pressione < 0,2 bar / 3 psi / 0,02 MPa. Le pressioni del vuoto possono essere utilizzate in sicurezza solo fino a 1000°C. La portata dei gas dovrebbe essere limitata a < 200 SCCM (o 200 ml/min) per ridurre gli shock termici al tubo. UN attenzione : Un regolatore di pressione a due stadi deve essere installato sulla bombola del gas per limitare la pressione al di sotto di 3 PSI per un funzionamento sicuro. Il piedistallo di questo forno è progettato solo per il trasporto a breve distanza su una superficie piana (senza fosse o dossi).