Potenza di ingresso

• Monofase 220 VAC, 50/60Hz
• 700 W (compresa la pompa del vuoto)
• Per l'utilizzo di 110 V CA, includeremo un trasformatore per te. Si prega di selezionare la tensione nelle Opzioni prodotto

Potenza di uscita

• 1600 V CC
• 40mA max

Camera sottovuoto

• Camera a vuoto: 150 mm ID x 165 mm OD x 150 mm H, realizzata in quarzo ad alta purezza
• Flangia di tenuta in acciaio inossidabile con O-ring piatto

Campionario con riscaldatore

• Dimensione del palco: 50 mm dia.
• Intervallo della distanza di sputtering: 25 – 40 mm regolabile
• Tavolino girevole con tre posizioni di sputtering (controllate dal touch screen)
• Riscaldatore di substrato è integrato con una temperatura massima di riscaldamento di 500 °C
• Il regolatore di temperatura PID con una precisione di +/- 1 °C è integrato nel touch screen

Pannello di controllo

• Touch screen a colori da 6" con integrazione PLC per un facile utilizzo
• Il vacuometro, il misuratore di corrente di sputtering e il controllo della temperatura del substrato sono integrati nel pannello touch screen
• Manopole di regolazione sul pannello frontale per l'aspirazione del gas e il controllo della corrente di sputtering
• La posizione di sputtering, il timer di sputtering e la registrazione del processo sono accessibili dal touch screen

Scudo

• Acciaio inossidabile gabbia di scudo è incluso per una protezione extra

Obiettivi sputtering

• Requisiti delle dimensioni del bersaglio: 47 mm dia. x 2,5mm max
• Tre obiettivi sono inclusi nel pacchetto standard per l'uso immediato:
• Au target , diametro 47 mm. x 0,12 mm
• Obiettivo Ag , diametro 47 mm. x 0,5 mm
• Bersaglio Cu , diametro 47 mm. x 2,5 mm
• Obiettivi vari sono disponibili per l'ordine presso MTI

Pompa a vuoto
(Opzionale)

• Porta per vuoto KF25 integrata per il collegamento a una pompa per vuoto.
• La pompa del vuoto con connettore KF25 è necessaria, ma non inclusa. L'utente può scegliere
• UN pompa per vuoto meccanica a doppio stadio per vuoto fino a 1.0E-2 Torr.
• O un turbopompa per vuoto fino a 1.0E-5 Torr
• La pompa del vuoto può essere collegata alla presa di corrente a sinistra del dispositivo di rivestimento per il controllo automatico
• 

Dimensioni

• 440 mm L × 330 mm L × 455 mm H

Peso netto

• 50 kg

Conformità

• Omologazione CE
• La certificazione MET (UL 1450) è disponibile su richiesta a un costo aggiuntivo, si prega di contattare il nostro rappresentante di vendita per un preventivo

Garanzia

• Un anno limitato con supporto a vita

Note applicative

• Per la migliore forza di adesione pellicola-substrato, pulire la superficie del substrato prima del rivestimento:
• Pulizia ad ultrasuoni con i seguenti bagni sequenziali - (1) acetone, (2) alcol isopropilico - per rimuovere olio e grasso. Asciugare il substrato con N2, quindi cuocere a caldo sottovuoto per rimuovere l'umidità assorbita
• La pulizia al plasma può essere necessaria per irruvidire la superficie, attivare i legami chimici superficiali o rimuovere ulteriore contaminazione
• Un sottile strato tampone (~5 nm), come Cr, Ti, Mo, Ta, potrebbe essere applicato per migliorare l'adesione di metalli e leghe

• Un regolatore di pressione a due stadi (non incluso) deve essere installato sulla bombola del gas per limitare la pressione di uscita del gas al di sotto di 0,02 MPa per un utilizzo sicuro. Utilizzare > Gas Ar purezza 5N per sputtering al plasma
• Il dispositivo di verniciatura a sputtering può essere collocato in una scatola a guanti per gas Ar e N2 per il rivestimento
• ALTA TENSIONE! Le testine sputtering si collegano all'alta tensione. Per motivi di sicurezza, l'operatore deve spegnere l'apparecchiatura prima del caricamento del campione e delle operazioni di modifica del target
• Questo modello non è adatto per rivestire materiali metallici leggeri come Al, Mg, Zn, Ni, ecc. a causa della bassa energia. Si prega di prendere in considerazione il nostro rivestimento a polverizzazione magnetica o ad evaporazione termica. Fare clic sulle immagini di seguito per i dettagli