Struttura compatta

Potenza di ingresso

• Monofase 220 VAC 50/60 Hz
• 2000 W (inclusi pompa per vuoto e refrigeratore d'acqua)

Potenza della fonte

• Tre fonti di alimentazione sputtering sono integrate in una scatola di controllo (fare clic sull'immagine sotto per vedere le specifiche dettagliate)
• Sorgente DC: 500 W di potenza per il rivestimento di materiali metallici (Fig 1)
• Sorgente RF: potenza 300 W, frequenza 13,56 MHz per rivestimento di materiali non conduttivi (Fig. 2)

Testa di sputtering del magnetron

• Tre teste sputtering magnetron da 2". con camicie di raffreddamento ad acqua e otturatori sono inclusi
• Disponibile anche un modello a testa sputante.
• Requisito della dimensione dell'obiettivo: 2 "di diametro
• Intervallo di spessore: 0,1 - 5 mm per obiettivi metallici e non conduttivi (inclusa la piastra di supporto)
• Uno Bersaglio in acciaio inossidabile e un grado di ricerca Obiettivo Al2O3 sono inclusi per il test demo
• I bersagli sputtering da 2" opzionali (o la piastra di supporto) sono disponibili su richiesta a un costo aggiuntivo.
• Ricetta consigliata per lo sputtering e consigli utili
• Spalmatrice personalizzata: Due DC - Una RF; Due RF - Una DC; Tre CC; Tre RF (selezionare dalle opzioni del prodotto)
• Opzionale: il cavo RF da 148 cm può essere ordinato a un costo aggiuntivo per la sostituzione

Camera sottovuoto

• Camera a vuoto: 300 mm dia. x 300 mm di altezza, in acciaio inossidabile
• Viewport: Due pezzi di 100 mm Dia. bicchiere. Uno fisso; uno staccabile per la pulizia e la sostituzione
• Il coperchio incernierato con palo di alimentazione pneumatico consente un facile cambio del bersaglio

Fase campione

• Il portacampioni è un tavolino girevole e riscaldabile costituito da un riscaldatore in ceramica con coperchio in rame
• Dimensioni del portacampioni: 140 mm dia. per. 4" ostia max
• Velocità di rotazione: 1 - 20 giri/min regolabile per rivestimento uniforme
• La temperatura del supporto è regolabile da RT a 500 °C max (2 ore max) con precisione +/- 1,0 °C tramite un termoregolatore digitale

Controllo del flusso di gas

• Sono installati due controllori di flusso di massa di precisione (MFC) per consentire l'ingresso di due tipi di gas
  
  
• Portata: 0 – 200 ml/min & 0 - 100 ml/min regolabile sul pannello di controllo touch screen
• La valvola di ingresso dell'aria è installata per il rilascio del vuoto

Stazione di pompaggio del vuoto

• È inclusa una stazione di pompaggio mobile. Il dispositivo di verniciatura a sputtering può essere posizionato sopra la stazione
• La pompa turbo ad alta velocità a 80 L/S è combinata con una pompa meccanica a due stadi (220 L/min) per il massimo livello di vuoto e una maggiore velocità di pompaggio
• Livello di vuoto standard collegato alla camera: < 4.0E-5 Torr. . (1.0E-6 Torr con cottura in camera)
• Opzionale a costo aggiuntivo
• Se scegli una pompa turbo ad alta velocità da 150L/S, il vuoto può raggiungere 10-6 torr con camera (6x10-7 torr con cottura)
• Per l'ultra-alto vuoto fino a 10^-7 torr, è necessaria una pompa getter (100L/s H2 & O2) oltre alla pompa turbo. Si prega di consultare i nostri ingegneri per una personalizzazione dettagliata.
• Pompa turbo ad alta velocità 150L/S
• Pompa Getter
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Refrigeratore d'acqua

• Una temperatura digitale controllata refrigeratore d'acqua a ricircolo è incluso.
• Intervallo di refrigerazione: 5~35 °C
• Portata: 16 L/min
• Pressione della pompa: 14 psi

Opzionale

• Quarzo preciso Monitor dello spessore del film è opzionale, che può essere inserito nella camera per monitorare lo spessore del rivestimento con una precisione di 0,10 Å
• Precisione Film sottile e Sistemi di analisi del rivestimento - EQ-TFMS-LD è disponibile a un costo aggiuntivo
• Vari target in ossido e metallo da 2" sono disponibili su richiesta a un costo aggiuntivo. Le piastre di supporto in argento epossidico e rame possono essere ordinate presso TMAX

Dimensioni complessive

Peso netto del rivestimento

• 160 kg

Peso di spedizione e amp; Dimensioni

• Totale 3 pallet
• 365 libbre, 48 "x 40" x 45 "
  
  
• 390 libbre, 48 "x 40" x 49 "
  
  
• 210 libbre, 48 "x 40" x 30 "
  
  

Conformità

• Omologazione CE
• La certificazione MET (UL 1450) è disponibile su richiesta a un costo aggiuntivo, si prega di contattare il nostro rappresentante di vendita per un preventivo.

Garanzia

• Un anno di garanzia limitata con supporto a vita

Note applicative

• Un regolatore di pressione a due stadi (non incluso) deve essere installato sulla bombola del gas per limitare la pressione di uscita del gas al di sotto di 0,02 MPa per un utilizzo sicuro
• Per rimuovere l'ossigeno dalla camera, TMAX suggerisce di utilizzare il 5% di idrogeno + il 95% di azoto per pulire la camera 2-3 volte, il che può ridurre il livello di ossigeno a < 10 ppm
• Utilizzare > Gas Argon di purezza 5N per sputtering al plasma. Anche se la purezza 5N Ar di solito contiene 10 - 100 ppm di ossigeno e H2O a seconda del fornitore. TMAX ti consiglia di utilizzare dispositivo di purificazione del gas per purificare il gas prima del riempimento.
• Per ottenere le migliori prestazioni, i target non conduttivi devono essere installati con una piastra di supporto in rame. Si prega di fare riferimento al video di istruzioni qui sotto per l'incollaggio del bersaglio
• TMAX fornisce substrati monocristallini dalla A alla Z
• TMAX Sputtering Coaters ha rivestito con successo ZnO su Al 2 O 3 substrato a 500 °C
• Testare la flessibilità del film sottile/elettrodo rivestito con Tester di piegatura del mandrino EQ-MBT-12-LD .
• ALTA TENSIONE! Le testine sputtering si collegano all'alta tensione. Per motivi di sicurezza, l'operatore deve spegnere il generatore RF/CC prima delle operazioni di caricamento del campione e di modifica del target
• NON utilizzare acqua di rubinetto nel refrigeratore d'acqua. È necessario utilizzare refrigeranti antiruggine per prevenire ruggine e corrosione.