Forno CSS da laboratorio a due zone per elaborazione termica rapida wafer fino a 5" di diametro a max.800°C - OTF-1200X-RTP-II-5

OTF-1200X-RTP-II-5 è un forno per lavorazioni termiche rapide con camera di quarzo ID 11". È progettato per l'evaporazione termica o CSS ( Sublimazione spaziata ravvicinata ) rivestimento con film fino a 5" Dia. Campioni circolari e 800°C max. Il forno è riscaldato da due gruppi di riscaldatori alogeni (superiore e inferiore) separatamente con max. 10ºC/sec velocità di riscaldamento. Due regolatori di temperatura di precisione a 30 segmenti sono integrati con una precisione di +/-1ºC. La porta RS485 e il software di controllo sono inclusi per consentire il funzionamento del forno e la registrazione del profilo di temperatura tramite PC. È uno strumento eccellente per la ricerca di film sottili di nuova generazione per celle solari, come celle solari CdTe, solfuro e perovskite.

SPECIFICHE:

Struttura del forno & Camera sottovuoto	· Due regolatori di temperatura. · La camera è realizzata in tubo di quarzo fuso ad alta purezza. · Dimensioni del tubo al quarzo: 11" OD/10,8" ID x 9" H · Le flange del vuoto sono realizzate in acciaio inossidabile 316.
Flange sottovuoto	· La flangia superiore con una porta del vuoto KFD-25 e un'uscita del gas (necessario tubo da 1/4") può scorrere manualmente verso l'alto o verso il basso per caricare e scaricare facilmente il substrato e il materiale evaporato. · La flangia inferiore ha una porta del vuoto KFD-25 con un ingresso del gas (necessario tubo da 1/4") con valvole a spillo. · La flangia è sigillata da doppi o-ring in silicone e può raggiungere max. la pressione del vuoto di 10E-2 Torr da una pompa meccanica di qualità e 10E-5 Torr da una pompa molecolare (la pompa del vuoto non è inclusa, si prega di ordinare separatamente). · Un vacuometro digitale è installato sulla flangia superiore. · Il vacuometro digitale anticorrosivo di precisione è in confezione standard (Dal 24.03.2016) .
Controllo del flusso di gas	Miscelatore di gas integrato con due galleggianti con campi di misura regolabili di 16 -160 mL/m
Riscaldatore e portacampioni	· Due riscaldatori controllati in modo indipendente con una distanza regolabile manualmente da 2 a 30 mm. · Le lampade alogene da 20 pezzi vengono utilizzate come elemento riscaldante per un rapido trattamento termico. · I riscaldatori sono realizzati in acciaio inossidabile con camicia fredda ad acqua per ridurre la radiazione termica e consentire un raffreddamento rapido. · 5" Dia. il supporto per wafer circolare è integrato nel riscaldatore superiore per contenere il substrato. · È incluso un set di lastre AlN ad alta conduttività termica o lastre di grafite (5" di diametro x 0,5 mm di spessore) (posto sul fondo per l'evaporazione del materiale) · È incluso un refrigeratore d'acqua circolante da 58 l/min per risparmiare acqua (fare clic sull'immagine qui sotto per vedere le specifiche dettagliate).
Regolatore di temperatura	· Due termoregolatori digitali di precisione con 30 segmenti programmabili offrono un controllo indipendente dei riscaldatori superiore e inferiore. · Ogni controller ha una funzione di autotune PID per proteggere i riscaldatori da overshooting e una funzione di allarme per evitare il surriscaldamento e l'interruzione di una coppia termica. · Interfaccia di comunicazione per PC e amp; è installato il software per la registrazione del profilo di temperatura mostrato di seguito. ·
Temperatura di lavoro	· Temperatura massima per ogni riscaldatore: <= 800ºC. · Massima differenza di temperatura tra due riscaldatori: <= 300ºC dipende dalla distanza tra due riscaldatori: o Spaziatura 30 mm max. differenza di temperatura: 315ºC @ solo riscaldamento inferiore
Riscaldamento e riscaldamento Velocità di raffreddamento	· Riscaldamento: < 8ºC/s (riscaldamento solo riscaldatore singolo) · Raffreddamento: < 10ºC/s (600 - 100ºC) max.
Coppia Termica	Due coppie termiche di tipo K sono installate separatamente sui riscaldatori superiore e inferiore.
Tensione di lavoro	220VAC, Monofase, 60A Air Breaker richiesto
Requisiti di potenza	9,5 KW totali
Dimensioni	1085 mm di lunghezza x 680 mm di larghezza x 1710 mm di altezza
Peso di spedizione e amp; Dimensione	· Due pallet: 525 libbre e 48" x 40" x 87" e 165 libbre con dimensione 39x31x29"
Opzionale	· È necessaria una pompa per vuoto. Si prega di ordinare separatamente facendo clic sulla prima immagine da sinistra in basso. Il livello di vuoto può raggiungere < = 10E-2 torr con pompa meccanica. · Se si utilizza gas corrosivo, considerare l'utilizzo della pompa a secco anticorrosivo mostrata nella seconda immagine da sinistra in basso (pompa Pfeiffer dalla Germania) a un costo aggiuntivo. · È possibile scegliere il sistema di erogazione del gas MFC digitale facendo clic sulla prima immagine da destra in basso.
Garanzia	Un anno limitato con supporto a vita (le parti consumabili come il tubo al quarzo e le lampade riscaldanti non sono coperte dalla garanzia).
Laptop, software e amp; Controllo Wi-Fi (opzionale)	· Laptop nuovo di zecca con Microsoft Windows 10 e Microsoft Office 2013 (30 giorni di prova gratuita) per l'uso immediato. · Sistema di controllo della temperatura basato su Labview ( EQ-MTS01 ) consente all'utente di modificare il profilo di temperatura, gestire la ricetta del trattamento termico, registrare e tracciare i dati per i forni MTI. · Un telecomando wireless fornisce fino a 300 metri di raggio d'azione. · Le funzionalità di cui sopra sono disponibili su richiesta a un costo aggiuntivo (fino a $ 1.000). Vi preghiamo di contattarci per ulteriori informazioni. · Nota: Il software è compatibile solo con Tmax Regolatore di temperatura Yudian di
Note sull'applicazione & Avvertenze	· I forni tubolari con tubo in quarzo sono progettati per l'utilizzo sottovuoto e bassa pressione < 0,2 bar / 3 psi / 0,02 MPa. Le pressioni del vuoto possono essere utilizzate in sicurezza solo fino a 1000°C. La portata dei gas dovrebbe essere limitata a < 200 SCCM (o 200 ml/min) per ridurre gli shock termici al tubo. · Attenzione : Un regolatore di pressione a due stadi deve essere installato sulla bombola del gas per limitare la pressione al di sotto di 3 PSI per un funzionamento sicuro. · Il piedistallo di questo forno è progettato per il trasporto a breve distanza su una superficie piana