Max 1200 ° c. Due Zone PECVD forno tubolare (diametro del tubo opzionale) con Auto-scorrevole

TMAX-DSP-1200PECVD è che un bi-zona scorrevole PE-CVD tubo sistema di combustione è costituito da sorgente al plasma RF, con dimensioni del tubo e un binario scorrevole integrato, misuratore di flusso di precisione con gas miscelazione serbatoio e una pompa a vuoto di alta qualità dell'olio-di meno. un forno PE-CVD è un nuovo strumento per crescere nanowire o grafene con i seguenti vantaggi:
1. lavorazione a temperature inferiori rispetto al convenzionale CVD.

2. alto riscaldamento & raffreddamento tasso mediante forno scorrevole.

3. Max 1200 ° c. temperatura di lavoro.

4. offre una vasta gamma di deposizione del materiale, quali carbonio & ZnO nanowire (o tubo) e grafema monostrato.

specifiche :

Dispone di

modello	DSP-1200 ℃ - PECVD-io	DSP-1200 ℃ - PECVD-II	DSP-1200 ℃ - PECVD-III	DSP-1200 ℃ - PECVD-IV
Power	3 KW	3 KW	4 KW	4 KW
tubo dimensioni	Dia 60(OD) X1800mm	Dia 80(OD) X1800mm	Dia 100(OD) X1800mm	Dia120 (OD) X1800mm
prodotto dimensioni (mm)	1800 x 410 x 610	1800 x 410 x 610	1800 x 460 x 660	1800 x 460 x 660
	1. temp di due precisione programmabile. controller con 30 segmenti. 2. due separatamente controllata riscaldamento Zone: 200mm di lunghezza per ogni riscaldamento zona 400mm totale in riscaldamento 250mm costante di lunghezza centrale temperatura riscaldamento zona se entrambe le zone erano riscaldate allo stesso temperatura
fornace strutture	1. Split tubo fornace con scorrevole ferroviario 2. 1150ºC di Max per il continuo riscaldamento 3. multi-programmabile precisione digitale regolatori di temperatura con 30 segmenti. 4. ingresso alimentazione: 208 – 240V AC input, singolo fase a max. 4kW
Plasma RF Power Supply	1. Potenza di uscita di di di di : 5 - 500W regolabile con stabilità di ± 1%. 2. RF frequenza: 13,56 MHz stabilità: ± 0.005%. 3. riflessione potenza: 10W max. 4. corrispondenti: automatico 5. RF Output Porto: 50 Ω, N-tipo, donna 6. rumore: < 30 dB. 7. di raffreddamento: Raffreddamento ad aria. 8. potenza: 208-240VAC, monofase, 50 / 60Hz
anti-corrosivo pressione Calibro	1. 3.8x10 -5 a 1125 Torr misurazione gamma 2. anti-corrosivi, gas-tipo indipendente 3. alta precisione e riproducibilità atmosfera per pressione atmosferica affidabile rilevamento 4. veloce rilevazione atmosferica Elimina tempo di attesa e accorcia processo ciclo 5. facile da scambiare plug & play sensore elemento
pompa per vuoto stazione e Valvole	1. ad alta velocità di Pfeiffer (120L/min) dell'olio-di meno Pompa per vuoto a secco, 10E-3 Torr limite viene installato all'interno il heavy duty carrello mobile 2. KF25 adattatore e tubo dell'acciaio inossidabile sono collegato tra pompa e tubo flangia con valvola a sfera per spina del cliente e giocare 3. può essere raggiunto il 10E-2 Torr vuoto all'interno di lavorazione tubo
massa flussimetri & Gas stazione di miscelazione	è installato in un carrello mobile per impieghi gravosi dove il tubo del forno possa essere posizionato sulla parte superiore. touch screen LCD è integrata per un facile controllo sul flusso di gas tasso di ogni canale indipendente. 1. temperatura di funzionamento: 5 ~ 45 ° c 2. Max. Pressione: 3 x 10 6 Pa 3. precisione: ± 1,5% FS 4. fodera: ±(0.5-1.5) % F.S. 5. duplicato precisione: ±0.2%F.S. 6. controllo Gamma: 5,10,20,30,50,100,200,300, 500SCCM o 1,2,3,5, 10SLM.
riscaldamento & raffreddamento Tariffe	porta RS485 e software sono installati e consentire il controllo remoto temperatura Profilo di PC. al fine di raggiungere Tasso di max.Heating, l'utente necessario preriscaldare il forno a voluta temperatura, quindi inserire il forno per la zona di esempio dell' di tubo al fine di raggiungere il Max. velocità di raffreddamento, spostare il forno riscaldato dalla zona calda al freddo riscaldamento tasso di zona: 15° C/sec (RT - 150 ° C); 10° C/sec (150° C - 250° C); 7° C/sec (250° C -350 ° C); 4° C/sec (350° C -500 ° C); 3° C/sec (350° C -550 ° C); 2° C/sec (550° C -650 ° C); 1° C/sec (650° C -800 ° C); 0,5 ° C/sec (800° C - 1000° C); raffreddamento tasso: 15° C/sec (1000-950° C); 10° C/sec (950° C - 900° C); 7° C/sec (900° C - 850° C); 4° C/sec (850° C - 750° C); 2° C/sec (750° C - 600° C); 1,5 ° C/sec (600° C – 500° C); 1° C/sec (500° C - 400° C); 0,5 ° C/sec (400° C - 300° C);
garanzia	garanzia con durata limitata di un anno supporto.
note applicative	forni tubolari con tubi al quarzo sono progettato per l'utilizzo sotto vuoto e pressione bassa < 0.12 MPa (assoluta pressione). attenzione: A regolatore di pressione a due stadi deve essere installato sulla bombola del gas per limitare la pressione di sotto 3 PSI per un funzionamento sicuro. la portata per gas dovrebbe essere limitato a < 200 SCCM (o 200 ml/min) per la riduzione shock termici al tubo. limite di vuoto definizione per tutti i forni di tubo di quarzo: * pressioni di vuoto possono essere solo utilizzato in modo sicuro fino a 1000° C. per il funzionamento Sistema PECVD con tubo di dimensioni più grande di 4", si prega di tenere sempre più di 1 metro di distanza dalla sorgente al plasma dopo il generatore plasma inizia lavoro.

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