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- Posta elettronica : David@tmaxcn.com
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- : No. 39, Xinchang Road, Xinyang, Haicang Dist., Xiamen, Fujian, China (Mainland)
Macchina per rivestimento ad evaporazione termica ad alto vuoto ad ultrasuoni con quattro fonti di riscaldamento (10-6 torr)
Model Number:
GSL-1800X-ZF4:
XiamenMOQ:
1Pagamento:
L/C D/A D/P T/T Western UnionDelivery Time:
5 days
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Forno CSS da laboratorio a due zone per un trattamento termico rapido fino a 5" di wafer di diametro a max.800°CProssimo:
Forno CSS a due zone con porta wafer rotante fino a 5x5" a max.800°C
Macchina per rivestimento ad evaporazione termica ad alto vuoto ad ultrasuoni con quattro fonti di riscaldamento (10-6 torr)
SPECIFICHE
Ingresso e amp; Potenza di uscita |
· Ingresso: 208 - 240 V CA, 20 A, 50/60 Hz, monofase · Potenza totale richiesta: 8KW (compresa la pompa) · altra tensione trifase è disponibile su richiesta · Uscita: 5VAC max. e 300 A max. |
Camera sottovuoto
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· Camera in acciaio inossidabile: 280 mm ID. x 375 mm di altezza, (~23 litri) Superficie di lucidatura elettrolitica sabbiata · Finestra di osservazione da 100 mm davanti alla camera · Porta incernierata per un facile caricamento del campione · Sulla parte superiore di ogni barca W di evaporazione sono presenti delle serrande ad azionamento manuale, che consentono l'evaporazione di 4 tipi di materiale uno per uno · 4 porte KF40 integrate nella camera per il collegamento al dispositivo necessario |
· La pompa per vuoto turbo ad alta velocità è inclusa e collegata alla camera del vuoto. (per favore fai clic sull'immagine a sinistra sopra) o Velocità del vuoto: 600L/S o Livello di vuoto: 5.0x10 -6 Torr (dopo 40 minuti di pompaggio) o Limite di vuoto: 5.0x10 -7 Torr (dopo cottura a 100 -150°C) o Tasso di perdita: 5.0x10 -7 Papà. o Porta del vuoto: diametro 150 mm |
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· Sono incluse quattro barche riscaldanti in tungsteno supportate da elettrodi freddi ad acqua · La barca riscaldante in tungsteno ha dimensioni 70 mm L x 12 mm W x 3 mm H 。 La barca W di riserva è disponibile a un costo aggiuntivo 。 · Ogni parte superiore della barca ha un otturatore di funzionamento manuale · L'otturatore manuale incorporato consente di utilizzare la fonte di evaporazione senza contaminazione · Il portacampione rotante da 100 mm di diametro si trova sulla parte superiore della camera con diametro 260 mm, che può essere riscaldato fino a 600°C max. tramite termoregolatore digitale con precisione +/- 1 °C · La distanza tra la fonte di evaporazione e il portacampione è regolabile di 150-300 mm
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Controllo dello spessore ( opzionale ) |
· Un monitor e controller dello spessore della pellicola ad alta risoluzione è opzionale ( fare clic sull'immagine qui sotto per vedere le specifiche di dettaglio) · La precisione del controllo dello spessore è di 1,0 A
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Unità di controllo |
· Il controllo del vuoto, dello spessore e della potenza sono integrati in un'unica scatola di controllo · L'unità di controllo è separata dalla camera a vuoto per un facile spostamento · È possibile posizionare l'unità di controllo sopra la stazione del vuoto |
Dimensioni complessive |
L600mm× L860mm× A1500mm |
Peso netto |
600kg |
Requisiti della struttura per l'installazione |
· Spazio: 250 SF con altezza > 6 piedi · Potenza: 208 - 240 V CA, monofase con Max 10 KW (interruttore 50 A) · Acqua: > 15L/minuto di acqua corrente necessaria per il raffreddamento dell'elettrodo. È possibile ordinare il refrigeratore d'acqua a ricircolo per risparmiare acqua facendo clic sull'immagine in basso a un costo aggiuntivo.
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Note applicative |
· Testare la flessibilità del film sottile/elettrodo rivestito con EQ-MBT-12-LD tester di flessione del mandrino . · |
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Due anni di garanzia limitata con supporto a vita Certificato CE |